Wenhan Zhang

聚焦离子束铣削的加工偏差不再只被预测成一个确定结果，条件扩散模型按输入设计学出加工结果的统计分布，能给出边缘形貌、线宽变化和缺陷概率的分布预测。

聚焦离子束铣削的加工偏差不再只被预测成一个确定结果，条件扩散模型按输入设计学出加工结果的统计分布，能给出边缘形貌、线宽变化和缺陷概率的分布预测。