纳米加工不再只给一个结果：条件扩散模型学出整批可能形貌，边缘与线宽偏差都能算概率

纳米加工的结果被当作一个分布来预测，而不是一个确定形貌。 此前的铣削过程模型通常只预测单一确定结果，忽略加工偏差。 预测结果复现了实际加工样品中观察到的边缘形貌、线宽变化和缺陷概率。

模型把输入设计当作条件，学的是同一设计下多种可能加工结果的统计规律。 条件扩散模型学习的是以输入设计为条件的加工结果统计分布。 该模型在加工样品上给出的分布预测与观察到的边缘形貌、线宽变化和缺陷概率相符。

该工作面向聚焦离子束铣削的加工偏差分析，读者是关注微纳加工建模与加工感知设计的研究人员和工程师。材料称其建立了用于加工偏差分析和加工感知设计优化的概率建模框架。

材料称预测复现了加工样品中观察到的边缘形貌、线宽变化和缺陷概率，但未说明验证样品数量或定量误差范围。铣削偏差来源被描述为消融速率波动和再沉积等系统性与随机性效应。